3D光學輪廓儀對各種產品，部件和材料的表面輪廓，粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。一句話概括就是超光滑表面（納米級）微觀形態的量度。

　　傳統的機械零件由于受加工設備的限制，對精度包括平面度，粗糙度的要求常規下停留在微米量級。但隨著技術發展，人們對機械零件的加工精度要求開始向納米量級邁進，設備加工精度的提高帶動檢測技術的發展，傳統的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對檢測納米量級精度的機械零件有很大的局限性。

　　3D光學輪廓儀初應用在光學加工行業時，其3D、高速、精密、可靠和穩定，開始引起加工人士的注意并開始應用。3D光學輪廓儀已在汽車發動機噴油嘴、半導體切割刀具、人工關節制造、量塊標定等方面有的應用。一些特定功能如平面度、粗糙度、直線度和高度差等在機械加工檢測中呈現出新的應用。

　　3D光學輪廓儀新一代的系統模塊化設計，具備高度彈性之組合配置，可針對不同之量測需求配置來符合不同之量測應用：搭載電動鼻輪，zui多可同時掛載5種物鏡，使用時直接切換，省去手動更換的麻煩。同時配備電動調整移動平臺，可對樣品作自動調平及定位。垂直與水平軸向掃描范圍大，適合各種自動量測之應用，樣品皆不需前處理即可進行非破壞、快速的表面形貌量測與分析，使用于業界研發生產、制程改善以及學術研究等單位。

　　3D光學輪廓儀之高度分辨率可達0.1 nm，而搭配使用Z垂直軸量測掃描行程更可達到100mm，且水平軸向亦可達次微米解析，除此3D光學輪廓儀可透過計算機控制移動平臺進行水平掃瞄，使其水平軸向量測范圍可達到150 × 150mm，并可依據客戶需求修改平臺尺寸。3D光學輪廓儀搭配快速的校正程序以及演算原理，系統校正結果可以追朔至NIST標準，并結合數種創新且強固可靠的算法，因此本系列產品可同時擁有高度以及大范圍量測的特質。