KLA D600 探針式表面輪廓儀

KLA 探針式表面輪廓儀介紹：

KLA D600 探針式表面輪廓儀采用光學杠桿傳感器技術提供高分辨率、較大的高度測量范圍和準確的微力控制。探針的接觸式測量技術的優點是直接測量，與材料特性無關。多種力度調節和探針尺寸選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測量由材料結構改變引起的粗糙度和應力變化。

KLA D600 探針式表面輪廓儀包括一個200mm自動樣品載臺和具有增強圖像控制的光學器件。Alpha-Step輪廓儀體積小巧，專為高校、實驗室和研究所設計，可為半導體和化合物半導體器件、LED、太陽能、MEMS、汽車和醫療行業提供臺階高度、粗糙度和應力測量。

產品特點：

• 500萬像素高分辨率彩色相機

• 平整的掃描平臺

• 用于測量可視化的側視視圖

• 從0.03到15毫克的力控制范圍

• Z向掃描范圍可達1.2mm

• 200毫米手動XY樣品臺

• 符合CE標準

產品優勢：

• 在重復性和再現性上具有良好表現

• 接觸式測量，適用于多種材料

• 測量軟材料的微力控制

• 梯形失真校正可消除側視圖造成的失真

• 弧形校正補償探針的弧形運動

產品測量原理：

KLA D600 探針式表面輪廓儀采用了光學杠桿傳感器技術。光學杠桿傳感器利用轉軸組件上表面反射的激光束跟蹤表面形貌。反射的光束隨后投射到光電探測器上。對于 Alpha-Step，光束被分成兩部分：一邊投射到雙電池光電探測器上，另一邊投射到單電池光電探測器上 。這種設計可以在第一個探測器上對較小的步長進行高分辨率測量，而在第二個探測器上對較大的步長進行測量。激光束的偏轉在測探針蹤表面時發生變化，同時被光電探測器感應到，然后將這種偏轉轉換為形貌信號。光學杠桿的優勢在于整個組件的質量小，可以進行低力測量。此外，該傳感器響應速度快，可跟蹤表面形貌的變化。

主要應用：

行業應用：

高校和實驗室

KLA D600 探針式表面輪廓儀是任何高校、研究機構或實驗室的重要研究工具。該系統能夠進行接觸式的直接測量，結果與材料性質無關。研究人員能夠測量任何透明或不透明材料的沉積厚度。Alpha-Step輪廓儀操作簡便，簡單培訓即可讓用戶快速掌握和使用。

二次離子質譜（SIMS）產生的凹陷

準確測量二次離子質譜（SIMS）所產生的凹陷的深度，以確定離子濃度和凹陷深度的關系。測量凹陷底面的粗糙度，以表征離子束能量的均勻性。

試驗性生產

Alpha-Step探針式輪廓儀是小批量試驗性生產的理想選擇。操作員可以在樣品的多個位置快速聚焦和測量，以反映樣品表面的工藝變化。Alpha-Step輪廓儀的軟件還支持操作員、系統和批次信息的追蹤，以方便生產中的統計過程控制。

常規應用

Alpha-Step探針式輪廓儀被廣泛用于生產或研發。例如測量紡織品安全特征和與紡織品吸光率相關的粗糙度，還有消費電子產品的應用,包括測量觸摸屏形貌和玻璃屏幕上的薄膜臺階高度。

半導體和化合物半導體

測量在半導體前段、后段和封裝工藝中的表面形貌，包括測量光刻膠厚度、蝕刻深度、濺射高度、CMP前后形貌、粗糙度、樣品翹曲和應力，以改進生產工藝控制。

產品參數：

KLA 探針式表面輪廓儀測量圖：