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光學膜厚測量儀的原理和產(chǎn)品特性介紹
2019-8-27
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光學膜厚測量儀的特點是非接觸,非破壞方式測量，無需樣品的前處理，軟件支持Windows操作系統(tǒng)等。光學薄膜測厚儀是使用可視光測量晶圓、玻璃等基材上形成的氧化膜，氮化膜，光致抗蝕劑等非金屬薄膜厚度的儀器。光學膜厚測量儀測量原理如下：在測量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可視光，這時光的一部分在膜的表面反射，另一部分透進薄膜，然后在膜與底層(晶圓或玻璃)之間的界面反射。這時薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。光學薄膜測厚儀就是利用這種干涉現(xiàn)象來測量薄膜厚度...
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半導(dǎo)體技術(shù)中的薄膜沉積
2019-6-20
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薄膜的沉積，是一連串涉及原子的吸附、吸附原子在表面的擴散及在適當?shù)奈恢孟戮劢Y(jié)，以漸漸形成薄膜并成長的過程。薄膜的生成質(zhì)量以及膜厚檢測在半導(dǎo)體制造中有很高的重要性。半導(dǎo)體技術(shù)中薄膜的沉積方式有以下分類：化學氣相沉積（ChemicalVaporDeposition）——CVD反應(yīng)氣體發(fā)生化學反應(yīng)，并且生成物沉積在晶片表面。物理氣相沉積（PhysicalVaporDeposition）——PVD蒸鍍（Evaporation）利用被蒸鍍物在高溫（近熔點）時，具備飽和蒸汽壓，來沉積薄膜...
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On-line在線薄膜厚度檢測方案
2019-6-20
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簡介優(yōu)尼康科技有限公司（UNICORNTECHNOLOGYCO.,LTD.）成立于2012年11月，注冊于中國香港，是翌穎科技(上海)有限公司的子公司。翌穎科技(上海)有限公司主要為半導(dǎo)體、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類精密進口制程及測量設(shè)備。提供的一對一*，技術(shù)支持，備件管理和咨詢服務(wù)。Filmetrics方案推廣商，具備方案定制，改造升級，本土化維護，與備件庫的方案提供商，是Filmetrics中國區(qū)售后服務(wù)中心什么是Parylene?聚對二甲（Poly－para－x...
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新應(yīng)用-種子包衣膜測量 F3膜厚測量儀
2017-6-7
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所謂種子包衣是采取機械或手工方法，按一定比例將含有殺蟲劑、殺菌劑、復(fù)合肥料、微量元素、植物生長調(diào)節(jié)劑、緩釋劑和成膜劑等多種成分的種衣劑均勻包覆在種子表面，形成一層光滑、牢固的藥膜。隨著種子的萌動、發(fā)芽、出苗和生長，包衣中的有效成分逐漸被植株根系吸收并傳導(dǎo)到幼苗植株各部位，使種子及幼苗對種子帶菌、土壤帶菌及地下、地上害蟲起到防治作用。藥膜中的微肥可在底肥借力之前充分發(fā)揮效力。因此，包衣種子苗期生長旺盛，葉色濃綠，根系發(fā)達，植株健壯，從而實現(xiàn)增產(chǎn)增收的目的。針對包衣膜厚的厚度管控...
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消磁器工作原理和性能測評
2016-8-9
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電鏡應(yīng)用環(huán)境改善方案！FEI（上海）張毅張承青關(guān)鍵詞:電磁干擾、消磁器、消磁器工作原理和性能測評目錄一．環(huán)境電磁干擾二．低頻電磁干擾的改善途徑三．主動式消磁器的基本工作原理及適用范圍四．主動式消磁器性能改進（雙線圈、雙探測器）五．評測主動式消磁器性能的主要指標六．主動式消磁器性能測評一．環(huán)境電磁干擾自從人類發(fā)現(xiàn)了電磁應(yīng)用以來，電磁能這種不能直接觀察到的物理現(xiàn)象正在日益深入我們生活的方方面面。電磁力給我們帶來許多便利，大大改善人們的工作和生活環(huán)境，但是在造福人類的同時也帶來許多...
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震動隔離系統(tǒng)-防振臺防震臺的使用
2016-8-9
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電鏡和其它精密儀器對環(huán)境震動要求很高，例如電鏡要求X、Y、Z方向的低頻震動（0~30Hz）＜6微米；30Hz以上的高頻震動＜12微米.。20Hz以下的低頻震動，對電鏡的干擾影響zui大。如果超過該指標，電鏡在高倍率（1萬倍以上）照相，就難于得到理想圖像。普通掃描電子顯微鏡（SEM）當安置到樓房高層（2層以上），或置于有強震動的場地時（例如附近地下有地鐵，），高倍率3萬倍以上觀察、照相就無法進行。而必須使用震動隔離系統(tǒng)-防振臺。場發(fā)射電鏡（FEM）要在幾十萬倍觀察和照相，對震動...
