HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀

HORIBA 橢圓偏振光譜儀產品介紹：

HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀是一種薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕，幾秒鐘內即可自動完成樣品測量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報告，包括薄膜厚度、光學常數、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。它是用于快速薄膜測量和器件質量控制的解決方案。為薄膜測量設計，一鍵式操作。

HORIBA 橢圓偏振光譜儀產品特點：

• 可在450nm~1000nm波長內實現快速測量（<1秒）

• 多種光斑尺寸軟件選擇

• 自動裝載和調整樣品高度（需自動平臺）

• 大面積自動成像（需自動平臺）

• 溫控臺、液體樣品池、電化學反應池、

• 密封氣體池、透過率曲線測量等多種附件

產品優勢：

光斑可視系統：HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀具備MyAutoView光斑可視系統，可清晰觀察光滑或粗糙的樣品表面，保證用戶可將測量光斑定位在樣品目標上的測量位置。

智能診斷：HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀儀器維護非常簡單，借助完整的操作向導，自動檢測并診斷問題，對故障進行處理

靈活多功能選項：HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀的入射角度可調，且可用于在線實時監測，具備靈活性。

產品測量原理：

HORIBA Smart SE 橢偏儀是利用薄膜的光學特性進行膜厚測量的非接觸測量方法。基于偏振光反射或透射時的狀態變化來測量薄膜的厚度和折射率。當偏振光照射到薄膜表面時，反射光或透射光的偏振狀態會發生變化，這種變化依賴于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振狀態和角度。通過分析這些變化，可以準確地推導出薄膜的厚度。

軟件：

橢圓偏振光譜軟件DeltaPsi2功能豐富，它基于WindowsT操作系統，充分利用了HORIBA Scientific（JobinYvon光譜技術）橢偏儀硬件技術的特點，具有眾多建模和擬合處理功能，以及簡單的操作界面，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。

• 梯度膜層

• 粗糙度或界面

• 材料組份/結晶度

• 各向異性膜層

• 薄膜厚度的不均勻性

• 退偏因子

• 與材料模型公式相關的完整的屬性數據庫

• 對于厚透明樣品基底背景光的自動修正

• 周期變化結構

• 用戶超薄薄膜應用的BLMC算法

• 多重猜測、多重初值、多重模型、相關性……

常見應用：

產品參數：

測量圖：